Análise eletromecânica do giroscópio MEMS

Análise eletromecânica do giroscópio MEMS

Anderson Henrique Rodrigues Ferreira

DISSERTAÇÃO

Português

T/UNICAMP F413a

[Eletromechanical analisys of MEMS gyroscope]

Campinas, SP : [s.n.], 2013.

130 p. : il.

Orientador: José Maria Campos dos Santos

Dissertação (mestrado) - Universidade Estadual de Campinas, Faculdade de Engenharia Mecânica

Resumo: Este trabalho apresenta uma análise dos problemas físicos associados ao projeto de um sensor inercial giroscópio baseado na tecnologia MEMS (micro-electro-mechanical-system). O dispositivo oferece uma resposta elétrica na forma de uma variação da capacitância devido à força de Coriolis e...

Abstract: This paper presents an analysis of the physical problems associated with the design of a gyroscope inertial sensor based on MEMS technology (MicroEletroMechanical System). The device gives a response in the form of an electrical capacitance change due to the Coriolis force and as a result...

Análise eletromecânica do giroscópio MEMS

Anderson Henrique Rodrigues Ferreira


										

Análise eletromecânica do giroscópio MEMS

Anderson Henrique Rodrigues Ferreira

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