Processos alternativos para micro e nanotecnologia

Processos alternativos para micro e nanotecnologia

Cleber Biasotto

TESE

Português

T/UNICAMP B47p

[Synthesis and characterization of oxide nitride and silicon oxynitride thin films by ECR-CVD]

Campinas, SP : [s.n.], 2012.

134 p. : il.

Orientador: Jose Alexandre Diniz

Tese (doutorado) - Universidade Estadual de Campinas, Faculdade de Engenharia Eletrica e de Computação

Resumo: Atualmente para atender à necessidade de fabricação dos sensores, dispositivos eletrônicos e circuitos integrados com dimensões micro e nanométricas, novos processo de custos e de thermal budgets reduzidos são necessários. Este trabalho apresenta o desenvolvimento de alguns destes novos...

Abstract: Nowadays, to attend the needs of the fabrication of sensors, electronic devices and integrated circuits with dimensions of micro and nanometrics, new processes of reduced costs and thermal budgets are needed. This work presents the development of some of these alternative processes for...

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Cleber Biasotto


										

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