Caracterização de propriedades mecânicas de materiais utilizados em microssistemas eletromecânicos

Caracterização de propriedades mecânicas de materiais utilizados em microssistemas eletromecânicos

Mario Eduardo de Barros Gomes e Nunes da Silva

DISSERTAÇÃO

Português

T/UNICAMP Si38c

[Mechanical properties characterization of materials used in micro-electro mechanical systems]

Campinas, SP : [s.n.], 2012.

75 f. : il.

Orientador: Luiz Otávio Saraiva Ferreira.

Dissertação (mestrado) - Universidade Estadual de Campinas, Faculdade de Engenharia Mecânica

Resumo: A caracterização das propriedades mecânicas de filmes finos faz-se necessária para o projeto e fabricação de Microsistemas Eletromecânicos (MEMS - Micro-Electro-Mechanical Systems), que demanda dados precisos dos materiais. Esta pesquisa descreve um novo método de caracterização das...

Abstract: The mechanical properties characterization of thin films is necessary for MEMS (Micro-Electro-Mechanical Systems) design and manufacture, which requires accurate materials data. This research describes a new method for mechanical properties characterization of thin films, inexpensive and...

Caracterização de propriedades mecânicas de materiais utilizados em microssistemas eletromecânicos

Mario Eduardo de Barros Gomes e Nunes da Silva


										

Caracterização de propriedades mecânicas de materiais utilizados em microssistemas eletromecânicos

Mario Eduardo de Barros Gomes e Nunes da Silva

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