Desenvolvimento de dispositivos bolométricos para detecção de radiação infravermelha distante : Development of bolometric devices for far-infrared radiation detection

Desenvolvimento de dispositivos bolométricos para detecção de radiação infravermelha distante : Development of bolometric devices for far-infrared radiation detection

Roberto Ribeiro Neli

TESE

Português

T/UNICAMP N322d

[Development of bolometric devices for far-infrared radiation detection]

Campinas, SP : [s.n.], 2012.

154 p. : il.

Orientador: Ioshiaki Doi

Tese (doutorado) - Universidade Estadual de Campinas, Faculdade de Engenharia Elétrica e de Computação

Resumo: Este trabalho tem como objetivo a fabricação e caracterização de sensores térmicos descritos como bolométricos, que são dedicados a detecção da radiação infravermelha distante. Estes sensores são construídos a partir de técnicas de microfabricação, utilizando filmes finos seletivos a...

Abstract: This work has as a main goal the fabrication and characterization of thermal sensors, described as bolometrics, which are dedicated to detection of far infrared radiation. These sensors are fabricated using microfabrication techniques and the thin films are selectives to wet etching. These...

Desenvolvimento de dispositivos bolométricos para detecção de radiação infravermelha distante : Development of bolometric devices for far-infrared radiation detection

Roberto Ribeiro Neli


										

Desenvolvimento de dispositivos bolométricos para detecção de radiação infravermelha distante : Development of bolometric devices for far-infrared radiation detection

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