Estudos de descargas de plasma contínuas

Estudos de descargas de plasma contínuas

Gilson Ronchi

DISSERTAÇÃO

Português

T/UNICAMP R667e

[DC plasma discharge studies]

Campinas, SP : [s.n.], 2012.

95 f. : il.

Orientador: Munemasa Machida

Dissertação (mestrado) - Universidade Estadual de Campinas, Instituto de Física Gleb Wataghin

Resumo: O conhecimento das condições para ruptura de gases e a formação de plasma são questões importantes, não apenas de interesse fundamental, mas também para muitas aplicações, tais como em deposição de filmes finos de óxido ou polímeros, limpeza de superfície de materiais ou implantação iônica,...

Abstract: The understanding of the gas breakdown mechanism and plasma formation are important issues not only of fundamental interests, but also for many applications such as oxide thin films or polymers deposition, surface cleaning and ion implantation, for example. The breakdown described by...

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Gilson Ronchi


										

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