Obtenção de tetracloreto de silicio com grau eletronico a partir de materias primas nacionais

Obtenção de tetracloreto de silicio com grau eletronico a partir de materias primas nacionais

Victor Baranauskas

DISSERTAÇÃO

Português

T/UNICAMP B231O

Campinas, SP : [s.n.], 1979.

[82] f. : il.

Orientadores: Yukio Ishikawa, Carlos Ignacio Mammana

Dissertação (mestrado) - Universidade Estadual de Campinas, Faculdade de Engenharia de Campinas

Resumo: Os circuitos integrados são geralmente construidos em camadas de silício crescidas pela redução do tetracloreto de silício (SiCl4) com hidrogênio sobre substratos de silício. (formula). O tetracloreto de silício para esta aplicação deve ter pureza elevada devido a influência desta nas...

Abstract: Not informed.

Obtenção de tetracloreto de silicio com grau eletronico a partir de materias primas nacionais

Victor Baranauskas


										

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