Microscanner de silicio

Microscanner de silicio

Luiz Otavio Saraiva Ferreira

TESE

Português

(Broch.)

T/UNICAMP F413m

Campinas, SP : [s.n.], 1994.

[154] f. : il.

Orientador: Sergio Moehlecke

Tese (doutorado) - Universidade Estadual de Campinas, Faculdade de Engenharia Eletrica

Resumo: Este trabalho consiste da concepção, construção e caracterização de microdefletores de feixes luminosos, doravante denominados "microscanners", fabricados utilizando-se a técnica de corrosão anisotrópicade silício. Confrontaram-se, por análises quantitativas dos parâmetros ópticos e...

Abstract: Not informed

Microscanner de silicio

Luiz Otavio Saraiva Ferreira


										

Microscanner de silicio

Luiz Otavio Saraiva Ferreira

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