Orientador : Antonio Celso Fonseca de Arruda

Dissertação (mestrado) - Universidade Estadual de Campinas, Faculdade de Engenharia de Campinas

Resumo: O trabalho descreve o projeto e construção de um forno de fusão zonal flutuante para purificação e puxamento de barras finas de silício. Nos três primeiros capítulos foram coletadas informações bibliográficas que forneceram o suporte teórico necessário ao desenvolvimento. Para o estudo, o...

Resumo: O trabalho descreve o projeto e construção de um forno de fusão zonal flutuante para purificação e puxamento de barras finas de silício. Nos três primeiros capítulos foram coletadas informações bibliográficas que forneceram o suporte teórico necessário ao desenvolvimento. Para o estudo, o equipamento foi subdividido em: tema Mecânico, de controle e de aquecimento. Nos capítulos IV e V, discutem-se, respectivamente, as escolhas de materiais e componentes utilizados e os resultados obtidos. No capítulo VI, mostra-se a viabilidade da utilização de motores, materiais e elementos de máquinas nacionais. Conclui-se também que a utilização de câmara de atmosfera controlada, com circuito simples de resfriamento, e adequada ao processo de purificação. As perdas de potência no sistema de aquecimento por R.F. podem ser minimizadas com o uso de barras de cobre isoladas, ao invés de cabos. O sistema modular dos cabeçotes de puxamento permite precisão dos movimentos da barra e fácil manutenção. Finalmente, destaca-se a necessidade da utilização de um microprocessador para controle de cilindricidade, deslocamentos da barra e temperatura de resfriamento

Abstract: The work describes the project and construction of a floating zone melting furnace to purification 'and pulling of Silicon slim rods. In the first three chapters bibliographical informations were collected wich made possible the theoretical support, necessary to the development. To be...

Abstract: The work describes the project and construction of a floating zone melting furnace to purification 'and pulling of Silicon slim rods. In the first three chapters bibliographical informations were collected wich made possible the theoretical support, necessary to the development. To be studied, the equipment was subdivided in: mechanical system, of control and of heating. In the 4th and 5 th chapters, its discussed, respectively, the choices of materials and components wich are utilized and the obtained results. In the 6 th chapter, it's showed the viability of the utilization of motors, materials and elements of national machine. The conclusion is that the utilization of controlled atmosphere chamber, with simple circuit of chilling, to the purification process is adequate. The power losses in the heating system by R.F. can be minimized with the using of isolated copper rods, instead of cables. The modular system of the pulling headblocks permits precision of the rod motions and easy maintenance. Finally, the conclusion is, of great importance the utilization of a microprocessor to the control of cylindricity rod displacement and chilling temperatures