Construção e caracterização de um equipamento de corrosão ionica reativa e sua aplicação na corrosão de tungstenio e fotorresiste

Construção e caracterização de um equipamento de corrosão ionica reativa e sua aplicação na corrosão de tungstenio e fotorresiste

Antonio Celso Saragossa Ramos

DISSERTAÇÃO

Português

(Broch.)

T/UNICAMP R147c

Campinas, SP : [s.n.], 1993.

[86] f. : il.

Orientador: Jacobus W. Swart

Dissertação (mestrado) - Universidade Estadual de Campinas, Faculdade de Engenharia Eletrica

Resumo: Este trabalho foi concebido da necessidade que se tinha de corroer amostras que requerem características específicas, como é o caso de circuitos integrados com tecnologias avançadas. Com este objetivo, projetou-se e construiu-se um sistema de Corrosão Iônica Reativa (RIE). Foi montado para...

Abstract: This work has as objective the development of a Reactive Ion Etching (RIE) System, motivated by the need of this technique for the fabrication of devices and Integrated circuits with advanced technologies. The RIE equipment has been designed, constructed and characterized. An RF generator...

Construção e caracterização de um equipamento de corrosão ionica reativa e sua aplicação na corrosão de tungstenio e fotorresiste

Antonio Celso Saragossa Ramos


										

Construção e caracterização de um equipamento de corrosão ionica reativa e sua aplicação na corrosão de tungstenio e fotorresiste

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