Difusão de estanho e implantação iônica de magnésio em GaAs

Difusão de estanho e implantação iônica de magnésio em GaAs

Cristiane Silveira Hernandes

DISSERTAÇÃO

Português

T/UNICAMP H43d

Campinas, SP : [s.n.], 1993.

[117]f. : il.

Orientador: Jacobus W. Swart

Dissertação (mestrado) - Universidade Estadual de Campinas, Instituto de Fisica Gleb Wataghin

Resumo: Neste trabalho estudamos duas técnicas de dopagem em semicondutores: difusão e implantação iônica. Realizamos difusão de Estanho em Arseneto de Gálio utilizando como fonte de difusão um filme "Spin-on-Glass" (SOG) dopado, através de processamento térmico rápido. O filme SOG serve tanto de...

Abstract: In the dissertation, two doping techniques of semiconductors have been studied: diffusion and ion implantation. Diffusion of Tin into GaAs from a Spin-on-Glass (SOG) layer during rapid thermal processing (RTP) has been performed. The SOG film acts as a diffusion source as well as a...

Difusão de estanho e implantação iônica de magnésio em GaAs

Cristiane Silveira Hernandes


										

Difusão de estanho e implantação iônica de magnésio em GaAs

Cristiane Silveira Hernandes

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