Orientador: Jaime Frejlich

Dissertação (mestrado) - Universidade Estadual de Campinas, Instituto de Fisica Gleb Wataghin

Resumo: A eficiência de difração é o núcleo deste trabalho. O problema central desta tese foi o desenvolvimento de um sistema automatizado para levantar a curva de eficiência das redes produzidas no laboratório. Para interpretá-la o capítulo III apresenta uma revisão bibliográfica, estudando a...

Resumo: A eficiência de difração é o núcleo deste trabalho. O problema central desta tese foi o desenvolvimento de um sistema automatizado para levantar a curva de eficiência das redes produzidas no laboratório. Para interpretá-la o capítulo III apresenta uma revisão bibliográfica, estudando a difração principalmente do ponto de vista rigoroso do eletromagnetismo, mas nem por isto deixando de discutir várias conseqüências da teoria ondulatória. Ainda com a difração em vista, estudamos o processo de revelação e desenvolvemos uma teoria para descrever a isotropia no ataque da fotoresina pelo revelador, descrita nas seções 2.2 e 2.3

Abstract: Not informed