Oxido de indio-estanho (ITO) : preparação e caracterização

Oxido de indio-estanho (ITO) : preparação e caracterização

Airton Lourenço

DISSERTAÇÃO

Português

T/UNICAMP L934o

Campinas, SP : [s.n.], 1993.

[102]f. : il.

Orientadores: Roberto T. Assumpção, Annette Gorenstein

Dissertação (mestrado) - Universidade Estadual de Campinas, Faculdade de Engenharia Mecanica

Resumo: Filmes de Óxido de indio dopado com estanho (ITO) foram preparados pela técnica de sputtering RF reativo. Os fi lmes, foram caracterizados no que concerne: propriedades elétricas (resistência de folha, resistividade-dc, concentração de portadores e mobilidade de Hall) , propriedades ópticas...

Abstract: Tin-doped Indium Oxide (ITO) films were prepared by the, reactive RF sputtering technique. The films were characterized concerning: electrical properties (sheet resistance, dc-resistivity, carrier concentration and Hall mobility), optical properties (transmittance and reflectance as a...

Oxido de indio-estanho (ITO) : preparação e caracterização

Airton Lourenço


										

Oxido de indio-estanho (ITO) : preparação e caracterização

Airton Lourenço

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