Corrosão de tungstenio por plasma

Corrosão de tungstenio por plasma

Patrick Verdonck

TESE

Português

(Broch.)

T/UNICAMP V584c

Campinas, SP : [s.n.], 1993.

245f. : il.

Orientador : Jacobus W. Swart

Tese (doutorado) - Universidade Estadual de Campinas, Faculdade de Engenharia Eletrica

Resumo: Neste trabalho apresentamos o desenvolvimento de processos de "back-etch" para a formação de "plugs" e de processos para obter estruturas em tungstênio com paredes verticais. Ao mesmo tempo apresentamos o estudo dos mecanismos da corrosão de tungstênio por plasma. Neste trabalho usávamos...

Abstract: In this work, we present the development of processes to obtain a back etch process for plug formation in via holes
and of processes to obtain tungsten structures with vertical walls. At the same time, the mechanisms behind the tungsten
etching were studied. These studies were mainly...

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Patrick Verdonck


										

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