Construção de uma evaporadora acoplada a um elipsômetro

Construção de uma evaporadora acoplada a um elipsômetro

Alexandre de Almeida Prado Pohl

DISSERTAÇÃO

Português

T/UNICAMP P753c

Campinas, SP : [s.n.], 1987.

62 f. : il.

Orientador: Helmut Hans Dispert

Dissertação (mestrado) - Universidade Estadual de Campinas, Instituto de Fisica Gleb Wataghin

Resumo: Foi construída uma evaporadora à vácuo, a qual foi acoplada um elipsômetro fotométrico automático. O sistema permite estudos In situ de propriedades ópticas de filmes evaporados. São descritos detalhes da construção e operação da evaporadora, assim como detalhes da influência das janelas...

Abstract: A vacuum evaporator apparatus coupled to na automatic fotometric ellipsometer was built. The system allows in situ studies of optical properties of evaporated films. Details on its construction and operation, as well as the influence of the optical windows in the ellipsometric...

Construção de uma evaporadora acoplada a um elipsômetro

Alexandre de Almeida Prado Pohl


										

Construção de uma evaporadora acoplada a um elipsômetro

Alexandre de Almeida Prado Pohl

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