Desenvolvimento de um sistema de pulverização catodica com multiplos alvos

Desenvolvimento de um sistema de pulverização catodica com multiplos alvos

Marco Antonio Silveira

DISSERTAÇÃO

Português

(Broch.)

T/UNICAMP Si39d

Campinas, SP : [s.n.], 1988.

129 f.

Orientador: Alaide Pellegrini Mammana

Dissertação (mestrado) - Universidade Estadual de Campinas, Faculdade de Engenharia de Campinas

Resumo: Neste trabalho são apresentados os resultados obtidos com o desenvolvimento e estudo de um sistema de pulverização catódica (sputtering) com múltiplos alvos, na deposição de filmes de tântalo e silício com tensão DC. São apresentados os detalhes relativos ao projeto e à construção das...

Abstract: Not informed.

Desenvolvimento de um sistema de pulverização catodica com multiplos alvos

Marco Antonio Silveira


										

Desenvolvimento de um sistema de pulverização catodica com multiplos alvos

Marco Antonio Silveira

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