Projeto e construção de um forno para a obtenção de monocristais de silicio pelo processo czochralski

Projeto e construção de um forno para a obtenção de monocristais de silicio pelo processo czochralski

Mario Cesar da Silva

DISSERTAÇÃO

Português

T/UNICAMP Si38p

Campinas, SP : [s.n.], 1984.

144f. : il.

Orientador: Antonio Celso Fonseca de Arruda

Dissertação (mestrado) - Universidade Estadual de Campinas, Faculdade de Engenharia de Campinas

Resumo: Foi projetado e construído um forno para o puxamento de monocristais de silício de até 5cm de diâmetro e 1,5kg. Trata-se de um equipamento composto por cinco sistemas básicos, a saber: de aquecimento, de acionamento, de refrigeração, de atmosfera inerte e de forno. Os critérios de projeto...

Abstract: A 5cm diameter and 1.5kg silicon single crystal pulling capable furnace was designed and constructed. The equipment is composed by five basic systems. These systems are heating, seed driving, water cooled refrigeration, inert atmosphere and furnace. The design criteria are based on recent...

Projeto e construção de um forno para a obtenção de monocristais de silicio pelo processo czochralski

Mario Cesar da Silva


										

Projeto e construção de um forno para a obtenção de monocristais de silicio pelo processo czochralski

Mario Cesar da Silva

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