Preparação e caracterização óptica de filmes de fotorresina

Preparação e caracterização óptica de filmes de fotorresina

Mauro Gibson Pereira

DISSERTAÇÃO

Português

T/UNICAMP P414p

Campinas, SP : [s.n.], 1984.

119 f. : il.

Orientador: Jaime Frejlich

Dissertação (mestrado) - Universidade Estadual de Campinas, Instituto de Fisica Gleb Wataghin

Resumo: O objetivo deste trabalho é a seleção e o desenvolvimento de técnicas para preparação e caracterização óptica de filmes de fotorresina. A utilização de filmes fotossensíveis para o registro, processamento de imagens e fabricação de componentes, requer a fabricação de filmes numa ampla faixa...

Abstract: This work is concerned with the selection and development of techniques for fabrication and optical characterization of thin photoresist films. The use of these films for optical recording, image processing and component fabrication requires good quality films ranging from tenths up to...

Preparação e caracterização óptica de filmes de fotorresina

Mauro Gibson Pereira


										

Preparação e caracterização óptica de filmes de fotorresina

Mauro Gibson Pereira

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