Propriedades ópticas e vibracionais de ligas amorfas Si1-x Nx:H preparadas por sputtering R.F.

Propriedades ópticas e vibracionais de ligas amorfas Si1-x Nx:H preparadas por sputtering R.F.

Jose Humberto Dias da Silva

DISSERTAÇÃO

Português

T/UNICAMP Si38p

Campinas, SP : [s.n.], 1987.

62 f. : il.

Orientador: Jorge Ivan Cisneros

Dissertação (mestrado) - Universidade Estadual de Campinas, Instituto de Fisica Gleb Wataghin

Resumo: Uma série de amostras das ligas amorfas silício-nitrogênio-hidrogênio foi preparada na forma de filmes finos pelo processo de "sputtering" RF reativo usando um alvo de silício intrínseco e uma mistura gasosa de N2, H2 e Argônio. A composição das amostras foi variada alterando-se a pressão...

Abstract: A series of thin film samples of amorphous silicon-nitrogen alloys was prepared by the RF reactive sputtering technique using an intrinsic silicon target and a gas mixture of N2, H2, and Argon. The nitrogen partial pressure was varied in order to get different compositions. the other...

Propriedades ópticas e vibracionais de ligas amorfas Si1-x Nx:H preparadas por sputtering R.F.

Jose Humberto Dias da Silva


										

Propriedades ópticas e vibracionais de ligas amorfas Si1-x Nx:H preparadas por sputtering R.F.

Jose Humberto Dias da Silva

    Exemplares