Automação de uma linha, em escala de laboratorio, para destilação de clorosilanos utilizados em microeletronica

Automação de uma linha, em escala de laboratorio, para destilação de clorosilanos utilizados em microeletronica

Carlos Roberto Lacerda

DISSERTAÇÃO

Português

T/UNICAMP L116a

Campinas, SP : [s.n.], 1985.

128f. : il.

Orientadores : Rezende Gomes dos Santos, Antonio Celso Fonseca de Arruda e Amauri Garcia

Dissertação (mestrado) - Universidade Estadual de Campinas, Faculdade de Engenharia de Campinas

Automação de uma linha, em escala de laboratorio, para destilação de clorosilanos utilizados em microeletronica

Carlos Roberto Lacerda


										

Automação de uma linha, em escala de laboratorio, para destilação de clorosilanos utilizados em microeletronica

Carlos Roberto Lacerda

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