Automação de uma linha, em escala de laboratorio, para destilação de clorosilanos utilizados em microeletronica
Carlos Roberto Lacerda
DISSERTAÇÃO
Português
T/UNICAMP L116a
Campinas, SP : [s.n.], 1985.
128f. : il.
Orientadores : Rezende Gomes dos Santos, Antonio Celso Fonseca de Arruda e Amauri Garcia
Dissertação (mestrado) - Universidade Estadual de Campinas, Faculdade de Engenharia de Campinas
Automação de uma linha, em escala de laboratorio, para destilação de clorosilanos utilizados em microeletronica
Carlos Roberto Lacerda
Automação de uma linha, em escala de laboratorio, para destilação de clorosilanos utilizados em microeletronica
Carlos Roberto Lacerda
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