Propriedades mecânicas em filmes de Nb/Pd

Propriedades mecânicas em filmes de Nb/Pd

Jair Scarminio

TESE

Português

T/UNICAMP Sca74p

Campinas, SP : [s.n.], 1989.

207 f. : il.

Orientador: Sergio Moehlecke

Tese (doutorado) - Universidade Estadual de Campinas, Instituto de Fisica Gleb Wataghin

Resumo: Fizemos um estudo da tensão mecânica (interna e térmica), falhas mecânicas e adesão, em filmes poli cristalinos de Nb/Pd depositados pelas técnicas de "sputtering" e evaporação. Observou-se que a tensão residual depende das condições de deposição, em especial da pressão do gás do plasma de...

Abstract: Stress (internal and thermal), mechanical failures and adhesion were studied for Nb/Pd polycrystalline films, deposited by sputtering and evaporation techniques. A dependence between residual stress and depositions conditions, mainly with the plasma pressure in sputtered films was...

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Jair Scarminio


										

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