Desenvolvimento de um sistema de deposição de filmes finos pela tecnica de "sputtering" com aplicação a filmes de Ta e TaN

Desenvolvimento de um sistema de deposição de filmes finos pela tecnica de "sputtering" com aplicação a filmes de Ta e TaN

Alfeu Vaz de Melo Junior

DISSERTAÇÃO

Português

T/UNICAMP M491d

Campinas, SP : [s.n.], 1979.

1v. (varias paginações) : il.

Orientador : Len Mei

Dissertação (mestrado) - Universidade Estadual de Campinas, Faculdade de Engenharia de Campinas

Resumo: Neste trabalho foi desenvolvido o sistema de deposição de filmes pela técnica de "sputtering" D.C., com aplicação ao Tântalo e seus compostos. O equipamento foi projetado e construído dentro da opção de se utilizar o máximo de recursos e tecnologias nacionais. Diversos acessórios,...

Abstract: Not informed

Desenvolvimento de um sistema de deposição de filmes finos pela tecnica de "sputtering" com aplicação a filmes de Ta e TaN

Alfeu Vaz de Melo Junior


										

Desenvolvimento de um sistema de deposição de filmes finos pela tecnica de "sputtering" com aplicação a filmes de Ta e TaN

Alfeu Vaz de Melo Junior

    Exemplares