Gerador automatico de mascaras de processo para confecção de circuitos integrados : sistema de posicionamento digital

Gerador automatico de mascaras de processo para confecção de circuitos integrados : sistema de posicionamento digital

Manoel Francisco de Sousa

DISSERTAÇÃO

Português

T/UNICAMP So85g

Campinas, SP : [s.n.], 1981.

1v. (varias paginações) : il.

Orientador : Carlos Ignacio Mammana

Dissertação (mestrado) - Universidade Estadual de Campinas, Faculdade de Engenharia de Campinas

Resumo: A litografia faz parte do conjunto de técnicas que concorrem para a fabricação de circuitos integrados em microeletrônica. Dentro do campo da litografia, a chamada litografia óptica é a técnica melhor estabelecida e a mais difundida. Seu uso implica na utilização de máscaras durante o...

Abstract: Not informed

Gerador automatico de mascaras de processo para confecção de circuitos integrados : sistema de posicionamento digital

Manoel Francisco de Sousa


										

Gerador automatico de mascaras de processo para confecção de circuitos integrados : sistema de posicionamento digital

Manoel Francisco de Sousa

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