Orientador: Carlos Ignacio Zamitti Mammana

Dissertação (mestrado) - Universidade Estadual de Campinas, Faculdade de Engenharia de Campinas

Resumo: Para se avaliar o comportamento de dispositivos semicondutores, bem como controlar os parâmetros dos processos de fabricação, é necessário identificar os processos e mecanismos de transporte eletrônico que ocorrem no mesmo. Essa identificação e feita através da medida de grandezas elétricas...

Resumo: Para se avaliar o comportamento de dispositivos semicondutores, bem como controlar os parâmetros dos processos de fabricação, é necessário identificar os processos e mecanismos de transporte eletrônico que ocorrem no mesmo. Essa identificação e feita através da medida de grandezas elétricas convenientes. Essas medidas são estabelecidas em função de modelos matemáticos propostos para o comportamento do dispositivo. 0 presente trabalho objetiva o estabelecimento de um parâmetro conjunto de técnicas de medições elétricas que permitam caracterizar dispositivos eletrônicos semicondutores, com a finalidade de estabelecer os processos padrões de medição das características dos componentes fabricados no LED. A primeira parte deste consta de uma resenha de métodos de medida de resistividade de semicondutores, bem como dos modelos e fatores de correção para diversas geomeias e condições das amostras; o método das pontas e o método de vander Pauw são extensivamente analisados. Quatro No capítulo 2 se apresenta uma resenha dos modelos, para os principais processos elétricos dos dispositivos semicondutores e se discutem métodos de .medidas que permitem caracterizá-los. Para essas caracterizações são discutidas principalmente medidas do comportamento das variáveis terminais do dispositivo tendo como parâmetros a temperatura e/ou a radiação luminosa. Uma grande quantidade de 1nformções a respeito do dispositivo é a obtida através de um conjunto de medidas convenientes, compostos pelas seguintes características: IxV, log(I)xV, aI/av x v, 10g(aI/aV)xV, CxV, ml/C xV, como . função da temperatura e/ou radiação luminosa' incidente Estão descritos neste trabalho (capítulo 2) os modelos matemáticos ma1S significativos dos diapositivos eletrônicos, com o objetivo de exemplificar algumas das diversas técnicas e circuitos de instrumentação desenvolvidos para obter as medidas acima. o capítulo 3 descreve os circuitos desenvolvidos para se obter as principais medidas elétricas e apresenta os resultados experimentais obtidos com tal instrumental. A conveniência o~ não da utilização de algumas técnicas é, também, discutida, bem como sugestões para o futuro aperfeiçoamento daquelas que se apresentaram mais promissoras. o apêndice contém dados referentes ao capítulo 1 e informações sobre equipamentos cuja importância no desenvolvimento do trabalho exige uma referência direta

Abstract: Not informed.