Construção de um sistema de processamento termico rapido (RTP) com lampadas tungstenio-halogenio como fonte radiante de aquecimento

Construção de um sistema de processamento termico rapido (RTP) com lampadas tungstenio-halogenio como fonte radiante de aquecimento

Jose Alexandre Diniz

DISSERTAÇÃO

Português

(Broch.)

T/UNICAMP D616c

Campinas, SP : [s.n.], 1992.

105f. : il.

(Publicação FEE)

Orientador : Peter Jurgen Tatsch

Dissertação (mestrado) - Universidade Estadual de Campinas, Faculdade de Engenharia Eletrica

Resumo: O principal trabalho desenvolvido foi o projeto, construçao e teste de um forno ( sistema) de processamento térmico rápido ( RTP - RAPID THERMAL PROCESSING), para a utilização em processos de fabricação de circuitos integrados. Como fonte radiante de aquecimento, utilizou-se um conjunto de...

Abstract: Not informed.

Construção de um sistema de processamento termico rapido (RTP) com lampadas tungstenio-halogenio como fonte radiante de aquecimento

Jose Alexandre Diniz


										

Construção de um sistema de processamento termico rapido (RTP) com lampadas tungstenio-halogenio como fonte radiante de aquecimento

Jose Alexandre Diniz

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