Orientador : Peter Jurgen Tatsch

Dissertação (mestrado) - Universidade Estadual de Campinas, Faculdade de Engenharia Eletrica

Resumo: O principal trabalho desenvolvido foi o projeto, construçao e teste de um forno ( sistema) de processamento térmico rápido ( RTP - RAPID THERMAL PROCESSING), para a utilização em processos de fabricação de circuitos integrados. Como fonte radiante de aquecimento, utilizou-se um conjunto de...

Resumo: O principal trabalho desenvolvido foi o projeto, construçao e teste de um forno ( sistema) de processamento térmico rápido ( RTP - RAPID THERMAL PROCESSING), para a utilização em processos de fabricação de circuitos integrados. Como fonte radiante de aquecimento, utilizou-se um conjunto de 11 lâmpadas de tungstênio-halogênio (halógenas) de 1500W/220V, totalizando 16500W de potência. Os capitulos destà dissertação apresentam: no primeiro, o
objetivo do trabalho, a motivação para executá-lo, as aplicações e as comparações entre os fornos convencionais e os sistemas RTP. No segundo, os sistemas RTP, com os diferentes tipos de fontes radiantes de calor, os métodos ( termopares e pirômetros ópticos ) para a medição da temperatura dos substratos em processamento térmico rápido e uma análise geral sobre a uniformidade aquecimento nos sistemas. No terceiro, o projeto e montagem de da parte mecânica do forno de RTP, a parte elétrica do equipamento, com uma análise geral do controlador de potência das lâmpadas halógenas. No quarto, o teste e caracterização do forno desenvolvido. No quinto, uma aplicação em processos de fabricação, do tipo recozimento térmico rápido ( RTA RAPID THERMAL ANNEALING ) a baixas temperaturas. No sexto e último as conclusões gerais, as melhorias e os trabalhos futuros sugeridos

Abstract: Not informed.