Gerador automatico de mascaras usadas na confecção de circuitos integrados II : "sistema optico de projeção e controle da fonte de luz"
Carlos Alberto dos Reis Filho
DISSERTAÇÃO
Português
T/UNICAMP R277g
Campinas, SP : [s.n.], 1978.
1v.(varias paginações) : il.
Orientador : Carlos I.Z. Mammana
Dissertação (mestrado) - Universidade Estadual de Campinas, Faculdade de Engenharia de Campinas
Gerador automatico de mascaras usadas na confecção de circuitos integrados II : "sistema optico de projeção e controle da fonte de luz"
Carlos Alberto dos Reis Filho
Gerador automatico de mascaras usadas na confecção de circuitos integrados II : "sistema optico de projeção e controle da fonte de luz"
Carlos Alberto dos Reis Filho