Desenvolvimento de um processo para obtenção de triclorosilano, a partir de silicio metalurgico nacional, destinado a produção de silicio de grau eletronico

Desenvolvimento de um processo para obtenção de triclorosilano, a partir de silicio metalurgico nacional, destinado a produção de silicio de grau eletronico

Jose Wilson Camilher Carvalho

DISSERTAÇÃO

Português

T/UNICAMP C253d

Campinas, SP : [s.n.], 1980.

95 f. : il.

Orientador: Mauricio Prates de Campos Filho

Dissertação (mestrado) - Universidade Estadual de Campinas, Faculdade de Engenharia de Campinas

Resumo: Este trabalho apresenta a pesquisa sobre os processos de obtenção e purificação de Triclorosilano (SiHCL3) utilizando-se como matéria prima Silício Metalúrgico nacional. O Triclorosilano se constitui na matéria prima fundamental para a obtenção de Silício de Grau Eletrônico ¿Observação: O...

Abstract: In the present work a research regarding the processes of preparation and purification of Triclorosilane (SiHCL3) using national metallurgical silicon as raw material is described. The Triclorosilane is the main raw material in the preparation of the Eletronic Grade Silicon ...Note: The...

Desenvolvimento de um processo para obtenção de triclorosilano, a partir de silicio metalurgico nacional, destinado a produção de silicio de grau eletronico

Jose Wilson Camilher Carvalho


										

Desenvolvimento de um processo para obtenção de triclorosilano, a partir de silicio metalurgico nacional, destinado a produção de silicio de grau eletronico

Jose Wilson Camilher Carvalho

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