Orientador: Mauricio Prates de Campos Filho

Dissertação (mestrado) - Universidade Estadual de Campinas, Faculdade de Engenharia de Campinas

Resumo: Este trabalho apresenta a pesquisa sobre os processos de obtenção e purificação de Triclorosilano (SiHCL3) utilizando-se como matéria prima Silício Metalúrgico nacional. O Triclorosilano se constitui na matéria prima fundamental para a obtenção de Silício de Grau Eletrônico ¿Observação: O...

Resumo: Este trabalho apresenta a pesquisa sobre os processos de obtenção e purificação de Triclorosilano (SiHCL3) utilizando-se como matéria prima Silício Metalúrgico nacional. O Triclorosilano se constitui na matéria prima fundamental para a obtenção de Silício de Grau Eletrônico ¿Observação: O resumo, na íntegra poderá ser visualizado no texto completo da tese digital.

Abstract: In the present work a research regarding the processes of preparation and purification of Triclorosilane (SiHCL3) using national metallurgical silicon as raw material is described. The Triclorosilane is the main raw material in the preparation of the Eletronic Grade Silicon ...Note: The...

Abstract: In the present work a research regarding the processes of preparation and purification of Triclorosilane (SiHCL3) using national metallurgical silicon as raw material is described. The Triclorosilane is the main raw material in the preparation of the Eletronic Grade Silicon ...Note: The complete abstract is available with the full electronic digital thesis or dissertations.