Medida de espessura de filmes finos com interferômetro de haidinger

Medida de espessura de filmes finos com interferômetro de haidinger

Elisabeth Andreoli de Oliveira

DISSERTAÇÃO

Português

T/UNICAMP OL4m

Campinas, SP : [s.n.], 1987.

59 f. : il.

Orientador: Jaime Frejlich

Dissertação (mestrado) - Universidade Estadual de Campinas, Instituto de Fisica Gleb Wataghin

Resumo: Apresentamos um método não destrutivo para medida de espessura de filmes finos transparentes depositados em substratos transparentes, usando um interferômetro de Haidinger. A partir das frações de interferência, medidas para vários comprimentos de onda, e do índice de refração para um único...

Abstract: We introduce a non-destructive method for the thickness measurement of thin transparent films coated on transparent substrates, using a Haidinger interferometer. From the interference fractions measured for various wavelengths, and the refraction index for only one wavelength, we determine...

Medida de espessura de filmes finos com interferômetro de haidinger

Elisabeth Andreoli de Oliveira

										

Medida de espessura de filmes finos com interferômetro de haidinger

Elisabeth Andreoli de Oliveira

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