Orientador: Iris C. L. de Torriani

Tese (doutorado) - Universidade Estadual de Campinas, Instituto de Fisica Gleb Wataghin

Resumo: Filmes finos de dióxido de estanho dopado com flúor foram produzidos pelo método convencional de vaporização sobre
substrato de vidro Corning 7059. As propriedades óticas elétricas dos filmes foram determinadas como função da temperatura
de substrato (200 - 490ºC) e da concentração de...

Resumo: Filmes finos de dióxido de estanho dopado com flúor foram produzidos pelo método convencional de vaporização sobre
substrato de vidro Corning 7059. As propriedades óticas elétricas dos filmes foram determinadas como função da temperatura
de substrato (200 - 490ºC) e da concentração de dopante na solução básica de vaporização. A transmitância no visível e
infravermelho próximo, como também a resistividade elétrica dos filmes decresceu com o aumento da concentração do flúor.
As melhores propriedades eletro-óticas (transmitância média de 75% resistividade elétrica de 10-3 Wcm) foram obtidas para
250ºC £ Ts £ 350ºC e concentrações de flúor na solução de vaporização em torno de 2 at.% F: Sn. A textura superficial dos
filmes foi investigada por microscopia ótica e eletrônica de varredura. A concentração de flúor nas amostras foi investigada por
SIMS (Secondary Ions Mass Spectroscopy), AES (Auger Electron Spectroscopy) and ESCA (Electron Spectroscopy for
Chemical Analysis). A análise por difratometria de raios X mostrou que os filmes depositados com Ts ³ 250ºC são
policristalinos. Observou-se uma mudança sistemática das linhas de difração de raios X como função da concentração de
flúor. Foram realizados cálculos teóricos dos fatores de estrutura associados à rede do SnO2 introduzindo-se átomos de flúor
em posições substitucionais e intersticiais. A presença do dopante não intencional Cl foi também investigada e seu papel nos
filmes de SnO2 : F sugerido

Abstract: Thin films of tin dioxide doped with fluorine were produced by the conventional spraying method using 7059 Corning Glass
substrates. The electrical and optical properties of these films were determined as a function of the substrate temperature(200 -
450ºC) and dopant concentration in the...

Abstract: Thin films of tin dioxide doped with fluorine were produced by the conventional spraying method using 7059 Corning Glass
substrates. The electrical and optical properties of these films were determined as a function of the substrate temperature(200 -
450ºC) and dopant concentration in the basic spraying solution. The visible and near infrared transmittance, as well as the
electrical resistivity of the films decreased with the increase in fluorine concentration. The best electro-optical properties (an
average transmittance of 75% and an electrical resistivity of 10-3 Wcm) were achieved for 250ºC £ Ts £ 350ºC and fluorine
concentration in the spraying solution of around 2 at.% F:Sn. The films surface texture was investigated by scanning electron
microscopy and optical microscopy. Fluorine content of the samples was investigated. by SIMS (Secondary Ions Mass
Spectroscopy), AES (Auger Electron Spectroscopy and ESCA (Electron Spectroscopy for Chemical Analysis). The x-ray
diffractometric analyses showed that the films deposited at Ts ³ 250ºC are polycrystalline. A systematic chance in the intensity
of the diffraction lines as a function of the fluorine content was observed. Theoretical calculations of the structure associated to
the SnO2 lattice introducing fluorine atoms in substitutional and interstitial positions were performed. The presence of the non
intentional dopant Cl was also investigated and its role in SnO2: F films suggested.