Orientador: Vitor Baranauskas

Tese (doutorado) - Universidade Estadual de Campinas, Faculdade de Engenharia Eletrica

Resumo: Procurou-se ao longo deste trabalho, desenvolver e caracterizar a Técnica de Fotolitografia Coerente, baseada na aplicação do laser de HeNe sobre placas fotográficas, explorando-se as características da radiação laser, tais como: monocromaticidade, brilho, coerência e modo de oscilação; de...

Resumo: Procurou-se ao longo deste trabalho, desenvolver e caracterizar a Técnica de Fotolitografia Coerente, baseada na aplicação do laser de HeNe sobre placas fotográficas, explorando-se as características da radiação laser, tais como: monocromaticidade, brilho, coerência e modo de oscilação; de forma a induzir o efeito de absorção a dois fótons nos cristais de Prata, determinando uma característica de absorção não linear na emulsão fotográfica. Para a compreensão deste mecanismo estabeleceu-se inicialmente a base da formação da imagem latente a nível das excitações elementares dos Cristais de Prata, desenvolvendo-se então um modelo teórico que permitisse uma compreensão apropriada a nível de uma descrição teórica do processo de sensibilização. Este modelo, embora preciso, apresentava-se pouco prático, do desenvolvimento de um modelo fenomenológico, estabelecido a partir de uma seqüência de experimentos, obtendo-se por fim, uma expressão paramétrica mais simples que descrevesse de forma adequada os resultados experimentais. Esta expressão foi empregada na análise de padrões litográficos micrométricos, apresentando um resultado bastante satisfatório. Para a fotogravação dos padrões micrométricos fez-se necessário o projeto e desenvolvimento do sistema litográfico e conseqüentemente de toda uma instrumentação específica. Esta técnica fotolitográfica apresenta-se, portanto, como uma possibilidade alternativa interessante, quando comparada a outros processos, sendo que a confecção de uma máscara em microeletrônica empregando laser, conforme apresentamos aqui, mostra-se atraente em função do seu poder de resolução, baixo custo e simplicidade

Abstract: Not informed.