Tecnica de fotolitografia coerente

Tecnica de fotolitografia coerente

Anderson William Mol

TESE

Português

(Broch.)

T/UNICAMP M73t

Campinas, SP : [s.n.], 1987.

128 f.

Orientador: Vitor Baranauskas

Tese (doutorado) - Universidade Estadual de Campinas, Faculdade de Engenharia Eletrica

Resumo: Procurou-se ao longo deste trabalho, desenvolver e caracterizar a Técnica de Fotolitografia Coerente, baseada na aplicação do laser de HeNe sobre placas fotográficas, explorando-se as características da radiação laser, tais como: monocromaticidade, brilho, coerência e modo de oscilação; de...

Abstract: Not informed.

Tecnica de fotolitografia coerente

Anderson William Mol


										

Tecnica de fotolitografia coerente

Anderson William Mol

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