Sistema de fotorrepetição para fabricação de circuitos integrados

Sistema de fotorrepetição para fabricação de circuitos integrados

Ailton de Sousa Brito

DISSERTAÇÃO

Português

T/UNICAMP B777s

Campinas, SP : [s.n.], 1982.

1v. (varias paginações) : il.

Orientador : Carlos Ignacio Zamitti Mammana

Dissertação (mestrado) - Universidade Estadual de Campinas, Faculdade de Engenharia de Campinas

Resumo: A litografia faz parte de um conjunto de técnicas usadas na fabricação de circuitos integrados. As técnicas litográficas são genericamente englobadas nas denominadas litografia óptica e litografia por feixe de elétrons, das quais a primeira é ainda a mais difundida e, melhor estabelecida. A...

Abstract: Not informed

Sistema de fotorrepetição para fabricação de circuitos integrados

Ailton de Sousa Brito


										

Sistema de fotorrepetição para fabricação de circuitos integrados

Ailton de Sousa Brito

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