Orientador : C.I.Z. Mammana

Dissertação (mestrado) - Universidade Estadual de Campinas, Faculdade de Engenharia de Campinas

Resumo: Este trabalho documenta a experiência obtida no projeto e construção de um implantador de íons no LME-EPUSP e o subsequente projeto de um implantador de íons para o Laboratório de Eletrônica e Dispositivos da Faculdade de Engenharia da UNICAMP. Foram concluÍdos os projetos e desenhos de...

Resumo: Este trabalho documenta a experiência obtida no projeto e construção de um implantador de íons no LME-EPUSP e o subsequente projeto de um implantador de íons para o Laboratório de Eletrônica e Dispositivos da Faculdade de Engenharia da UNICAMP. Foram concluÍdos os projetos e desenhos de execução das partes componentes do implantador do LED tendo sido introduzidas diversas modificações baseadas na experiência anteriormente citada e também nas características propostas para o implantador do LED. Entre estas podemos citar a elaboração de uma fonte de íons de concepção mais simples a utilização de um espectrômetro massa tipo setor magnético, uma câmara de alvo aperfeiçoada. O sistema de vácuo é totalmente automático

Abstract: Not informed