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Estudo do processo de deposição e das propriedades estruturais e ópticas de filmes poliméricos preparados em plasmas de C2H2, C2H2-SF6 e hexametildisiloxano

Estudo do processo de deposição e das propriedades estruturais e ópticas de filmes poliméricos preparados em plasmas de C2H2, C2H2-SF6 e hexametildisiloxano

Rogerio Pinto Mota

TESE

Português

T/UNICAMP M856e

Campinas, SP : [s.n.], 1992.

[152] f. : il.

Orientador: Mário Antônio Bica de Moraes

Tese (doutorado) - Universidade Estadual de Campinas, Instituto de Fisica Gleb Wataghin

Resumo: Filmes finos orgânicos foram depositados por polimerização a plasma a partir de descargas C2H2, C2H2 -SF6, C2H2 - Ar, e hexametildisiloxano ( HMDS ). Ambas, descarga e filmes foram estudados. Dois sistemas de vácuo foram usados para as deposições. Num dos sistemas, uma descarga de corrente... Ver mais
Abstract: Plasma polimerization amorphous thin films were deposited in glow discharge plasmas of C2H2, C2H2 - SF6, C2H2 - Ar, and hexamethyldisiloxane ( HMDS ). Both the discharges and films were studied. Two vaccum systems have been used for the depositions. In one of the systems, d.c. discharge... Ver mais

Estudo do processo de deposição e das propriedades estruturais e ópticas de filmes poliméricos preparados em plasmas de C2H2, C2H2-SF6 e hexametildisiloxano

Rogerio Pinto Mota

										

Estudo do processo de deposição e das propriedades estruturais e ópticas de filmes poliméricos preparados em plasmas de C2H2, C2H2-SF6 e hexametildisiloxano

Rogerio Pinto Mota

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