Estudo do processo de deposição e das propriedades estruturais e ópticas de filmes poliméricos preparados em plasmas de C2H2, C2H2-SF6 e hexametildisiloxano

Estudo do processo de deposição e das propriedades estruturais e ópticas de filmes poliméricos preparados em plasmas de C2H2, C2H2-SF6 e hexametildisiloxano

Rogerio Pinto Mota

TESE

Português

T/UNICAMP M856e

Campinas, SP : [s.n.], 1992.

[152] f. : il.

Orientador: Mário Antônio Bica de Moraes

Tese (doutorado) - Universidade Estadual de Campinas, Instituto de Fisica Gleb Wataghin

Resumo: Filmes finos orgânicos foram depositados por polimerização a plasma a partir de descargas C2H2, C2H2 -SF6, C2H2 - Ar, e hexametildisiloxano ( HMDS ). Ambas, descarga e filmes foram estudados. Dois sistemas de vácuo foram usados para as deposições. Num dos sistemas, uma descarga de corrente...

Abstract: Plasma polimerization amorphous thin films were deposited in glow discharge plasmas of C2H2, C2H2 - SF6, C2H2 - Ar, and hexamethyldisiloxane ( HMDS ). Both the discharges and films were studied. Two vaccum systems have been used for the depositions. In one of the systems, d.c. discharge...

Estudo do processo de deposição e das propriedades estruturais e ópticas de filmes poliméricos preparados em plasmas de C2H2, C2H2-SF6 e hexametildisiloxano

Rogerio Pinto Mota


										

Estudo do processo de deposição e das propriedades estruturais e ópticas de filmes poliméricos preparados em plasmas de C2H2, C2H2-SF6 e hexametildisiloxano

Rogerio Pinto Mota

    Exemplares