Tensão mecânica residual em filmes de polímeros depositados em plasma de acetileno

Tensão mecânica residual em filmes de polímeros depositados em plasma de acetileno

Tadashi Shiosawa

DISSERTAÇÃO

Português

T/UNICAMP Sh64t

Campinas, SP : [s.n.], 1992.

[85]f. : il.

Orientador: Mário Antônio Bica de Moraes

Dissertação (mestrado) - Universidade Estadual de Campinas, Instituto de Fisica Gleb Wataghin

Resumo: Esta tese relata um estudo da tensão mecânica residual s de filmes depositados em plasmas de descargas de corrente contínua e de radio freqüência de acetileno. O trabalho é dividido em duas etapas. Inicialmente estuda-se o comportamento de s em função dos parâmetros da descarga (pressão de...

Abstract: This thesis describes a study on the residual mechanical stress, s , of polymer films prepared in dc and rf glow discharge plasmas of acetylene. In the first part of the work we report the behavior of s as a function of film thickness and discharge parameters (acetylene pressure and power...

Tensão mecânica residual em filmes de polímeros depositados em plasma de acetileno

Tadashi Shiosawa


										

Tensão mecânica residual em filmes de polímeros depositados em plasma de acetileno

Tadashi Shiosawa

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