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Propriedades opticas e eletricas de nanoestruturas de Si

Propriedades opticas e eletricas de nanoestruturas de Si

Guilherme Osvaldo Dias

TESE

Português

T/UNICAMP D543p

[Optical and electrical properties of silicon nanostructures]

Campinas, SP : [s.n.], 2009.

137p. : il.

Orientador: Jacobus Willibrordus Swart

Tese (doutorado) - Universidade Estadual de Campinas, Faculdade de Engenharia Eletrica e de Computação

Resumo: Analisamos amostras de óxido de silício rico em silício (SRSO) obtidas por um sistema de deposição química de vapor com ressonância ciclotrônica de elétrons (ECR-CVD). Propriedades estruturais, de composição, ópticas e elétricas foram estudadas por transformada de Fourier de absorção no... Ver mais
Abstract: In this work we have analyzed samples of Silicon Rich Silicon Oxide (SRSO) obtained by an Electron Cyclotron Resonance Chemical Vapor Deposition system (ECR-CVD). Structural, compositional, electrical and optical properties were investigated by Fourier transform infrared (FTIR),... Ver mais

Propriedades opticas e eletricas de nanoestruturas de Si

Guilherme Osvaldo Dias

										

Propriedades opticas e eletricas de nanoestruturas de Si

Guilherme Osvaldo Dias

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