Otimização de uma linha para produção de triclorosilano de alta pureza a partir de silicio metalurgico nacional

Otimização de uma linha para produção de triclorosilano de alta pureza a partir de silicio metalurgico nacional

Sergio Ferreira do Amaral

DISSERTAÇÃO

Português

T/UNICAMP Am13o

Campinas, SP : [s.n.], 1986.

104f. : il.

Orientador: Rezende Gomes dos Santos

Dissertação (mestrado) - Universidade Estadual de Campinas, Faculdade de Engenharia de Campinas

Resumo: Este trabalho apresenta a otimização do processo de obtenção e purificação de Triclorosilano à partir do silício metalúrgico nacional. Este processo se constitui numa das etapas principais na tecnologia de Silício com pureza de grau eletrônico. A análise experimental do processo envolveu o...

Abstract: This work demonstrates an optimization process for the production and purification of trichlorosilane from metallurgist silicon. This process is one of the main steps of the tecnology for the production of silicon of very high purity. For the experimental analysis it was necessary the...

Otimização de uma linha para produção de triclorosilano de alta pureza a partir de silicio metalurgico nacional

Sergio Ferreira do Amaral


										

Otimização de uma linha para produção de triclorosilano de alta pureza a partir de silicio metalurgico nacional

Sergio Ferreira do Amaral

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