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Desenvolvimento de um reator para o crescimento de filmes diamantiferos tubulares

Desenvolvimento de um reator para o crescimento de filmes diamantiferos tubulares

Hudson Giovani Zanin

DISSERTAÇÃO

Português

T/UNICAMP Z16d

[Development of a reactor for growth of diamond tubular films]

Campinas, SP : [s.n.], 2008.

69 f. : il.

Orientador: Vitor Baranauskas

Dissertação (mestrado) - Universidade Estadual de Campinas, Faculdade de Engenharia Eletrica e de Computação

Resumo: Foi projetado e construído um reator para sintetização de filmes diamantíferos tubulares, por processo de deposição química a partir da fase vapor assistido por filamentos quentes (também conhecido como processo HFCVD - "Hot Filament assisted Chemical Vapor Deposition"). Obtiveram-se filmes... Ver mais
Abstract: A hot-filament chemical vapor deposition system was designed and built to grow diamond thin films. This system fed with ethanol highly diluted in hydrogen was employed to deposited diamond layers onto quartz tubes with diameters of 6 mm and length of 10 cm. High uniformity microcrystalline... Ver mais

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Hudson Giovani Zanin

										

Desenvolvimento de um reator para o crescimento de filmes diamantiferos tubulares

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