ITO como memoria optica

ITO como memoria optica

Marcio Calixto de Andrade

DISSERTAÇÃO

Português

T/UNICAMP An24i

Campinas, SP : [s.n.], 1987.

94 f. : il.

Orientador: Sergio Moehlecke

Dissertação (mestrado) - Universidade Estadual de Campinas, Instituto de Fisica Gleb Wataghin

Resumo: Filmes finos de óxido de índio estanho (ITO) foram crescidos utilizando o método de 'sputtering R.F.¿ reativo. As propriedades ópticas e elétricas destes filmes mostraram-se fortemente dependentes da pressão parcial de oxigênio durante a deposição. Do estudo dessa dependência e também, das...

Abstract: Indium tin oxide (ITO) thin films have been prepared by reactive r.f. sputtering. The optical and electrical properties of these films showed strong dependence with the oxygen partial pressure during deposition. From the study of this dependence and of films growth conditions, we obtained...

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Marcio Calixto de Andrade


										

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Marcio Calixto de Andrade

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