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Construção e caracterização de um reator indutivo : ICP para corrosão de materiais

Construção e caracterização de um reator indutivo : ICP para corrosão de materiais

Edmilson Besseler

DISSERTAÇÃO

Português

T/UNICAMP B464c

[Construction and characterization of an inductive reactor]

Campinas, SP : [s.n.], 2008.

145p. : il.

Orientadores: Peter Jurgen Tatsch, Stanislav A. Moshkalyov

Dissertação (mestrado) - Universidade Estadual de Campinas, Faculdade de Engenharia Eletrica e de Computação

Resumo: Esta dissertação apresenta as etapas do trabalho de construção de um Reator ICP destinado a processos de micro fabricação, mais precisamente, destinado a corrosões profundas de Silício a taxas de corrosões elevadas. O modelamento e as caracterizações do reator ICP foram feitas através de um... Ver mais
Abstract: This dissertation shows the steps to building an ICP Reactor dedicated to micro fabrication process, further to deep etching of Silicon on high rates. The modeling and characterization of ICP Reactor has been done in a prototype and after applied on an RIE equipment from LAM Research, that... Ver mais

Construção e caracterização de um reator indutivo : ICP para corrosão de materiais

Edmilson Besseler

										

Construção e caracterização de um reator indutivo : ICP para corrosão de materiais

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