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Ordem local na transição a-Si:H - uc-Si

Ordem local na transição a-Si:H - uc-Si

Ariathemis Moreno Bizuti

DISSERTAÇÃO

Português

(Broch.)

T/UNICAMP B554o

[Local order in the transition a-Si:H - uc-Si]

Campinas, SP : [s.n.], 2005.

46 f. : il.

Orientador: Leandro Russovski Tessler

Dissertação (mestrado) - Universidade Estadual de Campinas, Instituto de Fisica Gleb Wataghin

Resumo: Silício amorfo hidrogenado (a-Si:H) é um material amplamente usado na indústria microeletrônica. Ele é normalmente preparado a partir da decomposição do silano (SiH4). A diluição do silano em hidrogênio (H2) resulta em a-Si:H com propriedades eletrônicas superiores devido ao ataque químico... Ver mais
Abstract: Hydrogenated amorphous silicon (a-Si:H) is a material very used in the microelectronics industry. It is usually prepared starting from the decomposition of the silane (SiH4). Hydrogen dilution of the silane source gas is used to grow a-Si:H with superior electronics properties due to the... Ver mais

Ordem local na transição a-Si:H - uc-Si

Ariathemis Moreno Bizuti

										

Ordem local na transição a-Si:H - uc-Si

Ariathemis Moreno Bizuti

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