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Desenvolvimento de Microssensores do tipo ISFETs a base de Nanoeletrodos de Ag e Au

Desenvolvimento de Microssensores do tipo ISFETs a base de Nanoeletrodos de Ag e Au

Alexandre Kisner

DISSERTAÇÃO

Português

(Broch.)

T/UNICAMP K642d

[Fabrication of ISFET-Microsensors based on Ag and Au Nanoelectrodes]

Campinas, SP : [s.n.], 2007.

177f. : il.

Orientador: Lauro Tatsuo Kubota

Dissertação (mestrado) - Universidade Estadual de Campinas, Instituto de Química

Conjuntos de transistores de efeito de campo sensíveis a íons (ISFETs) foram desenvolvidos no presente trabalho. Implementou-se durante a fabricação destes uma etapa adicional de anodização que possibilitou a formação de uma fina camada de alumina porosa sobre suas portas. Esta serviu como... Ver mais
Arrays of ion-sensitive field effect transistors (ISFETs) were developed in this work. An additional step in the fabrication process was employed to implement a thin film of porous anodic alumina on the gate. This porous layer works as dielectric and template to the vertical growth of Ag and Au... Ver mais

Desenvolvimento de Microssensores do tipo ISFETs a base de Nanoeletrodos de Ag e Au

Alexandre Kisner

										

Desenvolvimento de Microssensores do tipo ISFETs a base de Nanoeletrodos de Ag e Au

Alexandre Kisner

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