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Sintese e caracterização de nanocristais de Ge por LPCVD

Sintese e caracterização de nanocristais de Ge por LPCVD

Emilio Sergio Marins Vieira Pinto

DISSERTAÇÃO

Português

(Broch.)

T/UNICAMP P658s

[Synthesis and characterization of Ge nanocrystal by LPCVD]

Campinas, SP : [s.n.], 2006.

89 f. : il.

Orientador: Ioshiaki Doi

Dissertação (mestrado) - Universidade Estadual de Campinas, Faculdade de Engenharia Eletrica e de Computação

Resumo: Nesta dissertação estudamos a obtenção de nanocristais (NCs) de Ge pela técnica de LPCVD (Low Pressure Chemical Vapor Deposition), buscando otimizar as condições de processo que resultassem em NCs com características de tamanho, densidade por unidade de área e uniformidade de tamanhos, que... Ver mais
Abstract: In this thesis we studied the synthesis of Ge nanocrystals (NCs) by the LPCVD technique (Low Pressure Chemical Vapor Deposition). We looked for NCs with characteristics of sizes, density and uniformity of sizes that are necessary for applications in floating gate memory devices. To reach... Ver mais

Sintese e caracterização de nanocristais de Ge por LPCVD

Emilio Sergio Marins Vieira Pinto

										

Sintese e caracterização de nanocristais de Ge por LPCVD

Emilio Sergio Marins Vieira Pinto

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