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Fabricação e caracterização eletrica de ponteiras de emissão de campo recobertas com filme fino DLC (Diamond Like Carbon)

Fabricação e caracterização eletrica de ponteiras de emissão de campo recobertas com filme fino DLC (Diamond Like Carbon)

Lesnir Ferreira Porto

DISSERTAÇÃO

Português

(Broch.)

T/UNICAMP P838f

[Fabrication and electrical characterization of field emission tips covered by DLC (Diamond Like Carbon) thin films]

Campinas, SP : [s.n.], 2005.

107p. : il.

Orientador: Marco Antonio Robert Alves

Dissertação (mestrado) - Universidade Estadual de Campinas, Faculdade de Engenharia Eletrica e Computação

Resumo: Este trabalho de mestrado teve como objetivos a fabricação e o estudo do comportamento elétrico das ponteiras de silício de emissão de campo a vácuo (PECV) recobertas com filme fino de carbono tipo diamante (DLC). Apresentamos o processo de fabricação das ponteiras de silício que é realizado... Ver mais
Abstract: The objectives of this dissertation were the fabrication of silicon field emitter tips coated with diamond like carbon (DLC) thin films, and the study of its electrical behavior. We present the fabrication process of silicon tips that consists on four stages: photolithography, reactive... Ver mais

Fabricação e caracterização eletrica de ponteiras de emissão de campo recobertas com filme fino DLC (Diamond Like Carbon)

Lesnir Ferreira Porto

										

Fabricação e caracterização eletrica de ponteiras de emissão de campo recobertas com filme fino DLC (Diamond Like Carbon)

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