Estruturas eletricas para avaliação de parametros litograficos em um processo defabricação de circuitos integrados

Estruturas eletricas para avaliação de parametros litograficos em um processo defabricação de circuitos integrados

Aristides Pavani Filho

DISSERTAÇÃO

Português

(Broch.)

T/UNICAMP P288e

Campinas, SP : [s.n.], 1991.

[220] f. : il.

(Publicação FEE)

Orientadores: Furio Damiani, Curt Ego Hennies

Dissertação (mestrado) - Universidade Estadual de Campinas, Faculdade de Engenharia Eletrica

Resumo: Neste trabalho apresentamos um conjunto de estruturas elétricas de teste para avaliação de parâmetros litográficos para serem empregadas na avaliação de um processo industrial de fabricação de circuitos integrados. Três foram os parâmetros investigados. A largura de linha, O overlay e a...

Abstract: Not informed.

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