Estudo de metodos de caracterização de contaminação em processos de fabricação em "salas limpas"
Florencio Fontecilla Alcalde
TESE
Português
T/UNICAMP AL16e
Campinas, SP : [s.n.], 1988.
156 f. : il.
Orientador: Carlos Alberto Ribeiro
Observação: Faltam as páginas 10 e 71
Tese (doutorado) - Universidade Estadual de Campinas, Faculdade de Engenharia de Campinas
Resumo: Neste trabalho foi verificado experimentalmente as condições imperantes nos processos de fabricação em "Salas Limpas" no que se refere à geração de contaminantes que influenciam estes processos. Para tanto foram projetados 30 experimentos representativos dos principais fatores que afetam os...
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Resumo: Neste trabalho foi verificado experimentalmente as condições imperantes nos processos de fabricação em "Salas Limpas" no que se refere à geração de contaminantes que influenciam estes processos. Para tanto foram projetados 30 experimentos representativos dos principais fatores que afetam os processos no que se refere à contaminação: sala, instrumentos, materiais de consumo, e fator humano (operadores). Para a amostragem foram desenvolvidas técnicas de coleta através de decantação de partículas aéreas em pastilhas de silício e filtragem por filtros de poros idade submicrométricas em meios secos e úmidos. As análises foram feitas por métodos ópticos, eletrônicos e raios laser, utilizando aparelhos normais de laboratório, entre eles microscópio eletrônico de varredura, raios X, Analisador de Imagens e contadores de partículas submicrométricas utilizando raios laser. Os resultados mostram-se adequados em todos os aspectos analisados: os novos métodos de amostragem são viáveis e as análises através de técnicas de laboratório já conhecidas mostram ser adequadas aos objetivos do trabalho. A comparação de alguns produtos para processos limpos de origem nacional e estrangeira mostra a necessidade do desenvolvimento de materiais para estes produtos e processos destinados a eliminação de contaminantes, face a entrada do nosso país na fabricação de circuitos integrados e montagem de sistemas de leitura e gravação de computadores, bem como outras tecnologias onde se faz necessário o controle do ambiente para seu desenvolvimento
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Abstract: Not informed
Ribeiro, Carlos Alberto, 1942-
Orientador
Coppini, Nivaldo Lemos, 1944-
Avaliador
Baranauskas, Vitor, 1952-2014
Avaliador
Moraes, Mário Antônio Bica de, 1939-
Avaliador
Robert, Maria Helena, 1953-
Avaliador
Estudo de metodos de caracterização de contaminação em processos de fabricação em "salas limpas"
Florencio Fontecilla Alcalde
Estudo de metodos de caracterização de contaminação em processos de fabricação em "salas limpas"
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