Orientador: Carlos Alberto Ribeiro

Observação: Faltam as páginas 10 e 71

Tese (doutorado) - Universidade Estadual de Campinas, Faculdade de Engenharia de Campinas

Resumo: Neste trabalho foi verificado experimentalmente as condições imperantes nos processos de fabricação em "Salas Limpas" no que se refere à geração de contaminantes que influenciam estes processos. Para tanto foram projetados 30 experimentos representativos dos principais fatores que afetam os...

Resumo: Neste trabalho foi verificado experimentalmente as condições imperantes nos processos de fabricação em "Salas Limpas" no que se refere à geração de contaminantes que influenciam estes processos. Para tanto foram projetados 30 experimentos representativos dos principais fatores que afetam os processos no que se refere à contaminação: sala, instrumentos, materiais de consumo, e fator humano (operadores). Para a amostragem foram desenvolvidas técnicas de coleta através de decantação de partículas aéreas em pastilhas de silício e filtragem por filtros de poros idade submicrométricas em meios secos e úmidos. As análises foram feitas por métodos ópticos, eletrônicos e raios laser, utilizando aparelhos normais de laboratório, entre eles microscópio eletrônico de varredura, raios X, Analisador de Imagens e contadores de partículas submicrométricas utilizando raios laser. Os resultados mostram-se adequados em todos os aspectos analisados: os novos métodos de amostragem são viáveis e as análises através de técnicas de laboratório já conhecidas mostram ser ade­quadas aos objetivos do trabalho. A comparação de alguns produtos para processos limpos de origem nacional e estrangeira mostra a necessidade do desenvolvimento de materiais para estes produtos e processos destinados a eliminação de contaminantes, face a entrada do nosso país na fabricação de circuitos integrados e montagem de sistemas de leitura e gravação de computadores, bem como outras tecnologias onde se faz necessário o controle do ambiente para seu desenvolvimento

Abstract: Not informed