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Estudo das propriedades termomecânicas e estruturais de filmes finos amorfos de carbono e nitretos de carbono

Estudo das propriedades termomecânicas e estruturais de filmes finos amorfos de carbono e nitretos de carbono

Ana Melva Champi Farfan

TESE

Português

(Broch.)

T/UNICAMP C358e

[Study of the thermomechanical and structural properties in amorphous carbon and carbon nitride]

Campinas, SP : [s.n.], 2004.

125p. : il.

Orientador: Francisco das Chagas Marques

Tese (doutorado) - Universidade Estadual de Campinas, Instituto de Fisica Gleb Wataghin

Resumo: Nesta tese estudamos a influência da incorporação de nitrogênio nas propriedades termomecânicas e estruturais em matrizes de carbono amorfo hidrogenado (a-C:H) e não hidrogenado (a-C). Duas técnicas de deposição foram utilizadas para o crescimento dos filmes. Os filmes hidrogenados foram... Ver mais
Abstract: In this work, we studied thenno mechanical and structural properties of hydrogenated amorphous carbon (a-C: H), hydrogenated carbon nitride (a-C:H:Nx) and carbon nitride (a-C:Nx) thin films. Two techniques were used to prepare the samples: glow discharge for depositing hydrogenated... Ver mais

Estudo das propriedades termomecânicas e estruturais de filmes finos amorfos de carbono e nitretos de carbono

Ana Melva Champi Farfan

										

Estudo das propriedades termomecânicas e estruturais de filmes finos amorfos de carbono e nitretos de carbono

Ana Melva Champi Farfan

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