Magnetron Sputtering planar construção e aplicação

Magnetron Sputtering planar construção e aplicação

Sebastião Eleuterio Filho

DISSERTAÇÃO

Português

T/UNICAMP EL28m

Campinas, SP : [s.n.], 1991.

[128] f. : il.

Orientador: Sergio Artur Bianchini Bilac

Dissertação (mestrado) - Universidade Estadual de Campinas, Instituto de Fisica Gleb Wataghin

Resumo: A técnica de deposição de filmes magnetron sputtering apresenta muitas vantagens em relação à outros métodos, como por exemplo, a simplicidade do equipamento, o baixo custo de manutenção, fácil manuseio e, a possibilidade de obtenção de altas taxas de deposição. Sua utilização é hoje muito...

Abstract: Magnetron sputtering, as a thin film deposition technique, shows advantage regarding other deposition methods, for example, the equipment can be relatively simple, easy handling, low maintenance cost and, make possible high rate deposition. The utilization of the technique in...

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Sebastião Eleuterio Filho


										

Magnetron Sputtering planar construção e aplicação

Sebastião Eleuterio Filho

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