Filmes finos depositados em plasmas de acetileno, etano, propano e benzeno : preparação e propriedades

Filmes finos depositados em plasmas de acetileno, etano, propano e benzeno : preparação e propriedades

Angel Fidel Vilche Pena

TESE

Português

T/UNICAMP V712f

Campinas, SP : [s.n.], 1991.

[146] f. : il.

Orientador: Mário Antônio Bica de Moraes

Tese (doutorado) - Universidade Estadual de Campinas, Instituto de Fisica Gleb Wataghin

Resumo: Filmes isolantes de polímeros orgânicos e filmes compósitos de polímero e metal foram preparados em descargas de gases orgânicos em vácuo. Os filmes isolantes foram depositados em descargas DC e RF de acetileno, etano, propano e benzeno enquanto que os filmes compósitos foram obtidos numa...

Abstract: Insulating organics polymer films and conducting composite polymer-metal films were prepared in plasmas of organics gases in vacuum. The insulating films were deposited in DC and RF discharges of acetylene, ethane, propane and benzene while the composite films were obtained in DC...

Filmes finos depositados em plasmas de acetileno, etano, propano e benzeno : preparação e propriedades

Angel Fidel Vilche Pena


										

Filmes finos depositados em plasmas de acetileno, etano, propano e benzeno : preparação e propriedades

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