Uma nova proposta para confecção da extensão da terminação da junção (JTE) em dispositivos planares de alta tensão
DISSERTAÇÃO
Português
(Broch.)
T/UNICAMP M859n
Campinas, SP : [s.n.], 1991.
[72] f. : il.
(Publicação FEE)
Orientador: Jose Antonio Siqueira Dias
Dissertação (mestrado) - Universidade Estadual de Campinas, Faculdade de Engenharia Eletrica
Resumo: Sabe-se que a curvatura da junção reduz a tensão de ruptura de junções p-n. Neste trabalho, desenvolveu-se uma técnica simples que usa pré-deposição convencional de boro com fontes dopantes sólidas, para fazer uma Extensão da Terminação da Junção (Junction Termination Extension - JTE) em...
Resumo: Sabe-se que a curvatura da junção reduz a tensão de ruptura de junções p-n. Neste trabalho, desenvolveu-se uma técnica simples que usa pré-deposição convencional de boro com fontes dopantes sólidas, para fazer uma Extensão da Terminação da Junção (Junction Termination Extension - JTE) em substituição aos processos de implantação de íon de alto custo. Para a obtenção de níveis de dopagem extremamente baixos para a fabricação do JTE, uma camada de óxido bem fina é previamente crescida sobre o "wafer", por uma oxidação à baixa temperatura, atuando como uma barreira para a carga de boro, controlando a carga liquida que alcança a superfície do silício
Abstract: Junction curvature has been known to reduce the breakdown voltage of p-n junctions. A simple technique that uses conventional boron pre-deposition with solid sources dopants was developed in this work to make Junction Termination Extension (JTE) in substitution for the high cost...
Abstract: Junction curvature has been known to reduce the breakdown voltage of p-n junctions. A simple technique that uses conventional boron pre-deposition with solid sources dopants was developed in this work to make Junction Termination Extension (JTE) in substitution for the high cost ion-implanted processes. To obtain the extremely low doping levels for the fabrication of the JTE, a very thin oxide layer previously grown on the wafer by a LTO acts as a barrier to the boron charge, controlling the net charge that reaches the silicon surface
Uma nova proposta para confecção da extensão da terminação da junção (JTE) em dispositivos planares de alta tensão
Uma nova proposta para confecção da extensão da terminação da junção (JTE) em dispositivos planares de alta tensão
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