Desenvolvimento de um gerador de plasma de microondas para uso em CVD e sua aplicação na sintese de filmes de carbono amorfo hidrogenado
Yamato Miyao
TESE
Português
(Broch.)
T/UNICAMP M699d
Campinas, SP : [s.n.], 2004.
95f. : il.
Orientador : Edmundo da Silva Braga
Tese (doutorado) - Universidade Estadual de Campinas, Faculdade de Engenharia Eletrica e de Computação
Desenvolvimento de um gerador de plasma de microondas para uso em CVD e sua aplicação na sintese de filmes de carbono amorfo hidrogenado
Yamato Miyao
Desenvolvimento de um gerador de plasma de microondas para uso em CVD e sua aplicação na sintese de filmes de carbono amorfo hidrogenado
Yamato Miyao
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