Estudo do processo de obtenção e propriedades de filmes finos compósitos de acetileno polimerizado, paládio e carbono, depositados à plasma

Estudo do processo de obtenção e propriedades de filmes finos compósitos de acetileno polimerizado, paládio e carbono, depositados à plasma

Rosane Parissari Eleuterio

DISSERTAÇÃO

Português

T/UNICAMP EL27e

Campinas, SP : [s.n.], 1991.

68 f. : il.

Orientador: Mário Antônio Bica de Moraes

Dissertação (mestrado) - Universidade Estadual de Campinas, Instituto de Fisica Gleg Wataghin

Resumo: Filmes finos compósitos de acetileno polimerizado-paládio-carbono foram obtidos pelo processo combinado de polimerização à plasma e sputtering. O plasma foi produzido numa câmara de vácuo com um sistema de eletrodos circulares e paralelos, alimentados por uma fonte de tensão de corrente...

Abstract: Polymer-metal-carbon composite thin films were prepared by combined plasma polymerization and sputtering processes. The plasma was produced in a vacuum chamber by a system of circular parallel electrodes connected to a DC power supply. One of the electrodes was covered with a palladium...

Estudo do processo de obtenção e propriedades de filmes finos compósitos de acetileno polimerizado, paládio e carbono, depositados à plasma

Rosane Parissari Eleuterio


										

Estudo do processo de obtenção e propriedades de filmes finos compósitos de acetileno polimerizado, paládio e carbono, depositados à plasma

Rosane Parissari Eleuterio

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